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この文書には，製品，レチクル，キャリア，製造装置またはミニエンバイロメントのロードポート部での静電気の最大推奨レベルの表が示されている。この目的は以下の通りである。
1-0414 — Specification for SOAP Binding for Equipment Self Description (EqSD)
SEMI E40-1101 (technical revision)
SEMI C36-1106 (technical revision)
devices that may classify a process endpoint by determining the size and count of particles in the process environment
E15100 - SEMI E151 - Guide for Understanding Data Quality Lang-English この文書には，製品，レチクル，キャリア，製造装置またはミニエンバイロメントのロードポート部での静電気の最大推奨レベルの表が示されている。この目的は以下の通りである。This Standard was technically approved by the Information & Control Global Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on December 8, 2016. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in May 2017; originally published March 2009; previously published December 2011. The purpose of this Guide is to provide common terminology and definitions that can be used when addressing the