F08700 - SEMI F87 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Revision:SEMI F87-0312 - Superseded 本スタンダードは，追加に関して業界の合意が得られれば，装置タイプに対応するEQIPを既存のものに追加できる構成となっている。さらに，このスタンダードでこれまで記載されていなかった新たな装置についてEQIPを定義することも可能になっている。スタンダードへの追加は，SEMIスタンダードの投票プロセスによって行われる。

本スタンダードは，追加に関して業界の合意が得られれば，装置タイプに対応するEQIPを既存のものに追加できる構成となっている。さらに，このスタンダードでこれまで記載されていなかった新たな装置についてEQIPを定義することも可能になっている。スタンダードへの追加は，SEMIスタンダードの投票プロセスによって行われる。

SEMI MF1391 — Test Method for Substitutional Atomic Carbon Content of Silicon by Infrared Absorption

SEMI F110 — Test Method for Mono-Dispersed Polystyrene Latex (PSL) Challenge of Liquid Filters

gas mixtures

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年11月にwww

F08700 - SEMI F87 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Revision:SEMI F87-0312 - Superseded 本スタンダードは，追加に関して業界の合意が得られれば，装置タイプに対応するEQIPを既存のものに追加できる構成となっている。さらに，このスタンダードでこれまで記載されていなかった新たな装置についてEQIPを定義することも可能になっている。スタンダードへの追加は，SEMIスタンダードの投票プロセスによって行われる。global Gases Technical Committee2012830global Audits and Reviews Subcommittee201210www. semiviews. org www. semi. org2004320123 1. 1252 34 308 kPa (44. 7 psia)50 slm20 C 3445 kPa (500 psia) Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used