C00349 - SEMI C3.49 - Standard for Bulk Nitrogen (N2), 99.99999% Quality StdTpc-FPD Substrates この仕様は，高圧ガスシリンダに充填された窒素に適用される。パイプライン・ガスには適用されない。

この仕様は，高圧ガスシリンダに充填された窒素に適用される。パイプライン・ガスには適用されない。

12-86 (technical revision)

1 and SEMI C7

(LCD) 用BLUに適用され，その測定は光学的領域のみを対象とする。その他の領域（電気的性質，信頼性など）については，他のSEMIスタンダードにより規定される。

notably for trace impurities

C00349 - SEMI C3.49 - Standard for Bulk Nitrogen (N2), 99.99999% Quality StdTpc-FPD Substrates この仕様は，高圧ガスシリンダに充填された窒素に適用される。パイプライン・ガスには適用されない。This Standard was technically approved by the Gases Global Technical Committee. Available at www. semi. org in March 2003; originally published in 1994. NOTICE: This Document was balloted and approved for withdrawal in 2003; it has been replaced by SEMI C59. Nitrogen is an odorless, tasteless, diatomic gas comprising approximately 78% of the earths atmosphere; colorless liquid. Noncombustible; a cryogenic gas derived from liquid air by fractional